武漢卓越優(yōu)信科技有限公司是一家專注于半導(dǎo)體微納工藝設(shè)備的供應(yīng)商,公司團隊成員和合作伙伴具有專業(yè)的知識背景和豐富的行業(yè)經(jīng)驗,始終堅持卓越、創(chuàng)新、誠信、服務(wù)的企業(yè)文化理念,向廣大科技工作者提供先進儀器設(shè)備的銷售和安裝服務(wù),產(chǎn)品覆蓋薄膜沉積、物性測量和表面分析等領(lǐng)域。
我們的合作伙伴有:
矽碁科技股份有限公司成立于2001年,公司總部位于中國臺灣新竹,是一家專業(yè)的從事科研實驗室薄膜制備設(shè)備研發(fā)和制造的高科技公司,公司員工30人(不包括加工工廠),其中技術(shù)人員超過20名,擁有自己的零件加工廠,可以提供快速的設(shè)備維護及升級服務(wù)。矽碁擁有雄厚的技術(shù)實力和齊全的產(chǎn)品線,主要產(chǎn)品有PVD設(shè)備(磁控濺射、電子束蒸發(fā)),CVD/ALD,OLED,CIGS,矽碁在全球銷售的真空鍍膜設(shè)備超過300套,所有設(shè)備都是按時交貨,達到指標(biāo),順利驗收,用戶對矽碁的售后服務(wù)都非常滿意。中國大陸主要用戶有:清華大學(xué),北京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),南京大學(xué),南京理工大學(xué),南京航空航天大學(xué),哈爾濱工業(yè)大學(xué),廣西大學(xué),陜西師范大學(xué),深圳大學(xué),南方科技大學(xué),常州大學(xué),五邑大學(xué),中科院長春應(yīng)用化學(xué)研究所,中科院大連化學(xué)物理研究所,中科院上海技術(shù)物理研究所,神華集團,華映科技集團,深圳信泰光學(xué)。
武漢科瑞達真空科技有限公司由畢業(yè)于武漢理工大學(xué)材料學(xué)院的朱選敏女士在2015年3月創(chuàng)建。科瑞達公司緊跟先進材料技術(shù)前沿,具有雄厚的技術(shù)實力和豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗,提供新材料真空合成工藝系統(tǒng)設(shè)計、工藝流程設(shè)計、工藝開發(fā)和新材料合成真空系統(tǒng)周邊輔助設(shè)備開發(fā)和制造。主要產(chǎn)品有大型連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線、大型工業(yè)生產(chǎn)鍍膜機、試驗中式機/中式線等。
德國Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH公司是一家專業(yè)的從事分子束外延設(shè)備研發(fā)和制造的高科技公司。該公司由Karl Eberl博士在1989年創(chuàng)建,公司的首批產(chǎn)品是硅升華源、碳升華源和高溫蒸發(fā)源。Karl Eberl博士具有超過25年的MBE相關(guān)領(lǐng)域研究經(jīng)驗,曾經(jīng)領(lǐng)導(dǎo)德國馬普所在斯圖加特的固體物理研究所從事MBE研究的課題組長達10年。公司經(jīng)過二十多年的發(fā)展,目前已經(jīng)成長為擁有30余名員工的、產(chǎn)品線齊全的專業(yè)分子束外延設(shè)備供應(yīng)商。公司擁有超過10名各MBE研究領(lǐng)域的專家和博士畢業(yè)生,產(chǎn)品線涵蓋成套MBE系統(tǒng)和各主要部件。提供的成套系統(tǒng)包括Octoplus 300\400\500等多個型號,襯底尺寸從1英寸到6英寸,按照材料種類可分為SiGe MBE, III-V MBE, II-VI MBE, 金屬MBE,N化物MBE,拓?fù)浣^緣體MBE,氧化物MBE等等。所提供的主要部件包括各種普通熱絲束源爐、電子束蒸發(fā)源、熱裂解源、閥式裂解源、原子氫源以及加熱樣品臺等。該公司產(chǎn)品性能優(yōu)越,品質(zhì)優(yōu)良,在MBE市場上贏得良好的口碑。
荷蘭Twente Solid State Technology BV(TSST)公司專注于為用戶提供定制化的脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD/LMBE),以及薄膜制備解決方案,具有20年研究與生產(chǎn)薄膜沉積系統(tǒng)的經(jīng)驗。TSST與世界最大的納米與微系統(tǒng)技術(shù)研究中心之一 ——荷蘭Twente大學(xué)MESA+ Institute保持著密切合作。
SENTECH是德國等離子刻蝕、等離子沉積、原子層沉積和原位測量設(shè)備的專業(yè)制造商,主要產(chǎn)品有等離子刻蝕,等離子沉積和原子層沉積,以及薄膜測量儀器,包括光譜橢偏儀,反射膜厚儀和激光橢偏儀,還有光伏測量儀器。
北京三和聯(lián)科技有限公司面向研究所高校及創(chuàng)新型公司提供高端微納材料加工設(shè)備。公司基于在真空、材料以及半導(dǎo)體設(shè)備方面的技術(shù)累計,向客戶提供先進材料刻蝕、生長與表面處理設(shè)備及服務(wù),提高客戶技術(shù)水平、生產(chǎn)效率與競爭力;產(chǎn)品涵蓋硅基材料、化合物半導(dǎo)體材料、以及二維薄膜材料應(yīng)用方向。主要產(chǎn)品有:離子束刻蝕機、等離子體清洗機等。
英國Durham Magneto Optics Ltd公司專為實驗室設(shè)計開發(fā),為微流控、SAW、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案。主要產(chǎn)品有微納結(jié)構(gòu)高速直寫光刻系統(tǒng),具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm x 70cm x 70cm),無掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性,還擁有高直寫速度,高分辨率的特點。采用集成化設(shè)計,全自動控制,可靠性高,操作簡便。適用于各種實驗室桌面。微納結(jié)構(gòu)高速直寫光刻系統(tǒng)Micro Writer ML3 Pro型采用聚焦光斑直寫式工作模式,其無需物理掩膜版,實驗靈活高效,可配置0.4μm,0.6μm,1.0μm,2.0μm和5.0μm共計5個直寫模式,且五種直寫分辨率模式可通過軟件自動切換,無需人工切換鏡頭,可同時滿足本課題組對實驗效率及靈活性,以及加工精度的要求。同時配有385nm光源,滿足對負(fù)膠樣品的快速曝光,可作為硅基復(fù)雜結(jié)構(gòu)傳感器的研究制備、微流體芯片等生化微納傳感器芯片的研制等研究方向的核心研究裝備。
是德科技致力于為電子設(shè)計、測試、測量和優(yōu)化提供突破性的解決方案,主要產(chǎn)品有半導(dǎo)體器件分析儀、頻譜分析儀(信號分析儀)、網(wǎng)絡(luò)分析儀、邏輯分析儀等。
奕葉國際有限公司是臺灣歷史最悠久的探針臺及相關(guān)配件制造商,已成為專業(yè)技術(shù)領(lǐng)域之先驅(qū)。
蔡司場發(fā)射掃描電鏡(SEM)采用多邊測量法,選擇統(tǒng)計學(xué)平均值,保證了數(shù)據(jù)的真實可靠。而大腔室兼具多種可拓展功能,不僅讓6英寸、8英寸晶圓的分析與表征得以實現(xiàn),充足的空間也可以保證取放片時的安全。多種可拓展接口,讓多種原位分析與表征成為可能。結(jié)合自動軟件,讓原位實驗的自動控制及數(shù)據(jù)采集更加得心應(yīng)手。既簡化電鏡操作,也代表了未來的發(fā)展趨勢。用戶可根據(jù)實際材料需求,滿足多種材料與器件的表征需要。可應(yīng)用的領(lǐng)域包括:微納加工,半導(dǎo)體芯片制備,光學(xué)薄膜,傳感器,存儲,超導(dǎo)等。
法國HORIBA Scientific在拉曼光譜領(lǐng)域有超過50 年的專業(yè)經(jīng)驗。拉曼光譜可以對固體、粉末、氣體進行快速無損的化學(xué)分析。高分辨顯微共焦激光拉曼光譜儀可以通過測量半導(dǎo)體材料的拉曼和光致發(fā)光(PL)譜獲得材料成分組成及各成分屬性的重要信息,如材料濃度分布、分子結(jié)構(gòu)、物相、材料應(yīng)力/張力分布、結(jié)晶度和相分布、刻蝕芯片結(jié)構(gòu)成像、帶隙分析等,還可以在高低溫環(huán)境下實現(xiàn)二維半導(dǎo)體的二次或多次諧波及成像。
英國Kratos Analytical公司,是日本島津公司的全資子公司,自1969年起持續(xù)制造表面分析儀器。在此期間,Kratos一直領(lǐng)導(dǎo)著與X射線光電子能譜儀相關(guān)的新技術(shù)的發(fā)展,以及用于表面和材料表征的相關(guān)附件。
德國Nanoscribe公司專注于納米3D打印設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。Photonic Professional GT2是世界上精度最高的3D打印機。
武漢嘉儀通科技有限公司是以薄膜物性測量儀器作為戰(zhàn)略定位,技術(shù)創(chuàng)新的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司集快速退火爐、熱電性能測試、芯片晶圓熱處理、薄膜熱導(dǎo)率、退火爐、去應(yīng)力退火、金屬合金化、薄膜熱處理、熱氧化、霍爾系數(shù)的研發(fā)、市場和技術(shù)服務(wù)于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè)。公司成立于 2009 年,總部位于中國光谷,專注于薄膜材料物理性能測量儀器的自主研發(fā),致力于為客戶提供薄膜材料的高低溫環(huán)境試驗、熱、電等性能測試分析的整體解決方案。
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