真空鍍膜設(shè)備
薄膜測量儀器
微納結(jié)構(gòu)高速直寫光刻系統(tǒng)
微納激光三維光刻系統(tǒng)
場發(fā)射掃描電鏡(SEM)
高分辨顯微共焦拉曼光譜儀
X射線光電子能譜儀(XPS)
半導(dǎo)體器件分析儀
手動/半自動/全自動探針臺
真空相關(guān)組件/配件
耗材